技術(shù)原理：

低溫等離子體是繼固態(tài),、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)的第四態(tài),，當外加電壓達到氣體的著火電壓時,，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子,、各種離子,、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高,，但重粒子溫度很低,，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體,。

工藝說明：

低溫等離子體廢氣凈化原理如下：在外加電場的作用下,，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離,、解離和激發(fā),，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學反應(yīng),，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|(zhì),，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無毒無害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除,。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev，適當控制反應(yīng)條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應(yīng)變得十分快速,。

等離子體化學反應(yīng)過程中,，等離子體傳遞化學能量的反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：

 (1) 電場+電子→高能電子

 (2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團,、游離基團)活性基團

 (3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱

 (4) 活性基團+活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出,，電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去,，獲得能量的分子或原子被激發(fā),，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團,；之后這些活性基團與分子或原子,、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外,，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲,，成為負離子,。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應(yīng)中起著重要的作用,。