低溫等離子體是繼固態(tài),、液態(tài),、氣態(tài)之后的物質的第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的著火電壓時,，氣體被擊穿,，產生包括電子,、各種離子、原子和自由基在內的混合體,。放電過程中雖然電子溫度很高,，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài),，所以稱為低溫等離子體,。
技術原理：
低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài),、氣態(tài)之后的物質的第四態(tài),，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿,，產生包括電子,、各種離子、原子和自由基在內的混合體,。放電過程中雖然電子溫度很高,，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài),，所以稱為低溫等離子體,。
工藝說明：
低溫等離子體廢氣凈化原理如下：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子,，使其電離,、解離和激發(fā),，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應,，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|,，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除,。因其電離后產生的電子平均能量在10ev,，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得十分快速。
等離子體化學反應過程中,，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場+電子→高能電子
(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子,、受激基團、游離基團)活性基團
(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出,，電子首先從電場獲得能量,，通過激發(fā)或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā),，同時有部分分子被電離,，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子,、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產物和熱,。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲,，成為負離子,。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用,。
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